Nikon想从GCA的手里抢回Intel、IBM、IT、ADM、HP的高端光刻机订单,只能率先攻克193nm波长的世界性难题,第一个研发成功65nm制程工艺的光刻机才有可能。
在Nikon技术领先的情况下,Intel、IBM、IT、ADM、HP就会以公司的利益为重。
ASML的工程师琼斯带领20多人的研发部门经过3年多时间的研发,于1996年9月,研发成功全球第二款具有自主知识产权的光刻机双工作平台系统,但为时已晚,ASML和其他光刻机公司都购买了BSEC的专利技术,自己生产光刻机双工作平台系统,BSEC负责升级;除了GCA,其他公司生产一台光刻机需要缴纳相当于每台光刻机售价1%的专利使用费。
GCA如今已经升级配套90nm制程工艺的磁悬浮式双工作台系统技术,遥遥领先于ASML的技术,按照专利技术转让协定,BSEC交给了Nikon、ASML、Canon和SVG。
全球光刻机用户已经习惯使用BSEC磁悬浮式双工作台系统技术,ASML在中高端光刻机上还是使用BSEC的,在低端光刻机上使用自研的。
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魏建国等BSEC的高层们都敬佩孙董事长的远见卓识,1999年度,公司光靠这项全球领先的公司发明专利,收取的专利技术转让费就达到公司净利润的16.5%,这些年赚得盆满钵满。
ASML先后在阿姆斯特丹和纳斯达克上市,研发资金有了保障,去年10月,第三个研发成功180nm制程工艺的光刻机,技术水平排在Canon的前面,凭借欧洲和韩国光刻机市场,占据全球中高端市场5成的市场份额。
第三大股东飞利浦公司不看好ASML的发展前景,加上公司电器业务出现问题,造成资金紧张,在高位逐渐清空了ASML的股票,退出了董事会,蔡司集团成为第三大股东。
ASML如今总股本增加到万股(去年10送5股),TIC持有2250万股,占股15%,这些年没有买也没有套现。
ASML在纳斯达克市场上的股票收盘23.5美元,TIC持有的股票市值万美元,1993年,TIC投资了1800万美元,赚了28倍多!
TIC要是在1993年在道琼斯市场上投资1800万美元购买GCA的股票,在今年3月前套现,可以赚329倍!
在孙健的眼里,ASML不仅是一个投资品种,也是一个备胎。
“孙总,据大家私下估算,没有50亿美元的投入,看不到EUV光刻机的影子。”
汤普森感觉压力巨大,孙董事长似乎知道研究EUV光刻机的重要性和难度,投入巨资,最后失败了,GCA可能要破产!
众董事也是一脸惊讶,这是第一次从汤普森的口里得知,即使EUV LLC联盟验证EUV光刻机的可行性,GCA继续研发EUV光刻机,起码还需要50亿美元的研发投入!
一旦失败,对GCA将造成毁灭性的打击,但孙董事长似乎并不担心。